2026 Handboek voor de vervaardiging van CNC-onderdelen
Hoofdstuk 9 Precision CNC Electronics & Semiconductor Components Manufacturing
CNC-bewerking van halfgeleiders, vacuümonderdelen, precisie-aluminiumonderdelen, componenten van roestvrij staal, microfuncties, oppervlakteafwerking, reiniging en inspectie
Ingenieursopleiding
Semiconductor CNC Machining · Semiconductor Equipment Components · Electronics CNC Machining · Vacuum Components · Precision Aluminum Machining · Stainless Steel CNC Machining · Ultra-Precision CNC Machining · Micro Machining · Precision Bores · Flatness · Surface Roughness · Vacuum Parts · Clean Machining · CMM Inspection
1Inleiding
De apparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiders werkt op een niveau waar kleine afmetingsverschillen de prestaties van de apparatuur kunnen beïnvloeden.
De componenten zelf zijn niet altijd extreem klein.
In plaats daarvan vereisen zij vaak een combinatie van:
-
Strakke afmetingen
-
Uitstekende vlakheid
-
Gecontroleerd parallelisme
-
Precieze locatie van de gaten
-
Fijne oppervlakteafwerkingen
-
Schoon oppervlak
-
Gebrekkige deeltjesopwekking
-
Complexe interne geometrieën
Typische bewerkte onderdelen kunnen zijn:
-
Vacuümkamercomponenten
-
Montageplaten
-
Buizen voor halfgeleiderapparatuur
-
Gasdistributiecomponenten
-
Precision manifolds
-
onderdelen voor de verwerking van wafers
-
Aluminiumconstructieonderdelen
-
Vacuümcomponenten van roestvrij staal
-
Precisieschachten
-
Afdichtingsonderdelen
Dit maakt semiconductor CNC-bewerking tot een gespecialiseerde toepassing van precisieproductie.
2. Wat is halfgeleider CNC-bewerking?
CNC-bewerking van halfgeleiders verwijst naar de precisiebewerking van componenten die worden gebruikt in apparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiders en aanverwante systemen.
Gewone bewerkingsprocessen omvatten:
-
CNC-freeswerk
-
CNC-draaien
-
Bewerkingen met behulp van drie assen
-
5-assige CNC-bewerking
-
Zwitserse bewerking
-
Boringen
-
Saai.
-
Vervaardiging
-
Honing
Aanvullende processen kunnen zijn:
-
Anodisatie
-
met een breedte van niet meer dan 50 mm
-
Passivatie
-
Polieren
-
Reiniging
-
Speciale oppervlaktebehandeling
Het werkelijke proces hangt af van het materiaal, de geometrie, de tolerantie en de toepassing van het onderdeel.
3Waarom halfgeleidercomponenten hoge precisie vereisen
Een halfgeleiderapparatuur bevat vaak meerdere componenten die samen moeten werken met gecontroleerde uitlijning.
Bijvoorbeeld:
Montageoppervlak
Preciesboren
Locatie van de pin
Vacuümzegel
De Commissie is van mening dat de Commissie de nodige maatregelen moet nemen om de situatie te verbeteren.
Een kleine fout in één onderdeel kan de montage van verschillende andere onderdelen beïnvloeden.
Dit is de reden waarom de fabrikanten van halfgeleiderapparatuur vaak veel nadruk leggen op geometrische toleranties.
4Gemeenschappelijke materialen
De onderdelen van precisie-halfgeleiderapparatuur kunnen worden vervaardigd van materialen zoals:
-
Aluminiumlegeringen
-
van roestvrij staal
-
gereedschapstaal
-
met een breedte van niet meer dan 15 mm
-
met een breedte van niet meer dan 15 mm
-
Ingenieursplastiek
-
Specialiteitsmaterialen
De materiaalkeuze is afhankelijk van:
-
Temperatuur
-
Chemische blootstelling
-
Vacuümomgeving
-
Mechanische belasting
-
Thermische uitbreiding
-
Verplichtingen inzake oppervlaktebehandeling
5. Precision Aluminium Bewerking
Aluminium wordt gewoonlijk gebruikt voor onderdelen van apparatuur waar een laag gewicht en een goede bewerkbaarheid gewenst zijn.
Typische onderdelen zijn:
-
Vervaardiging van motorvoertuigen
-
Montageplaten
-
Hoofdstukken
-
Vacuümgerelateerde componenten
-
Structurele onderdelen
-
Vervaardiging
Aluminium kan efficiënt worden bewerkt, maar grote precisieonderdelen kunnen nog steeds uitdagingen opleveren.
6Bewerking van grote aluminiumplaten
Grote aluminiumplaten kunnen vereisen:
-
Hoge materiaalverwijdering
-
Strakke vlakheid
-
Parallelisme
-
Meerdere gatenpatronen
-
Kleine secties
Het verwijderen van materiaal kan interne stress loslaten.
Als gevolg hiervan kan een grote plaat tijdens het bewerken licht bewegen.
Een productiestrategie kan derhalve gebruikmaken van:
Ruwe bewerking
↓
Stabilisatie / Stressverlichting
↓
Semi-afwerking
↓
Voltooiing van de bewerking
↓
Vlakte-inspectie
7Platte grond
Vlakheid kan van cruciaal belang zijn voor:
-
Montageplaten
-
Afdichtingsoppervlakken
-
Vacuümcomponenten
-
Verpakkingsbasis
Een onderdeel kan de juiste dikte hebben en toch niet aan de vereiste vlakheid voldoen.
Bijvoorbeeld:
Dikte = juist
betekent niet noodzakelijkerwijs:
Oppervlakte = vlak
Dit zijn verschillende geometrische kenmerken.
8Parallelisme.
Parallelisme is vaak belangrijk wanneer twee oppervlakken een gecontroleerde relatie moeten onderhouden.
Voorbeelden hiervan zijn:
-
Boven- en onderste bevestigingsoppervlakken
-
Gidsoppervlakken
-
Interfaces voor apparatuur
-
met een breedte van niet meer dan 50 mm
Onjuiste parallelisme kan leiden tot:
-
Verzamelproblemen
-
Onregelmatige belasting
-
Verkeerde uitlijning
9. Precision Borers
"Technologie" voor de "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologie" voor de "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologie" voor "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologie".
-
Schachten
-
Lagers
-
Aanpassingscomponenten
-
Vacuümsystemen
-
Vloeistof- of gaspaden
Critische kenmerken kunnen zijn:
-
Diameter
-
Rondheid
-
Cylindrisiteit
-
Positie
-
Ruwheid van het oppervlak
Afhankelijk van de vereisten kan de eindbewerking van de boor omvatten:
-
Saai.
-
Vervaardiging
-
Honing
10. Verfijning voor Precision Borers
Het slijpen kan nuttig zijn wanneer een boring gecontroleerd moet worden:
-
Diameter
-
Rondheid
-
Cylindrisiteit
-
Oppervlaktextuur
Bijvoorbeeld:
CNC-boren
↓
Honing
↓
Eindinspectie
kan een ander niveau van boringscontrole bieden dan alleen bewerking.
Dit is vooral relevant wanneer een precisieas in de boor moet werken.
11. slijpen voor halfgeleidercomponenten
Het slijpen kan worden gebruikt voor:
-
Precisieschachten
-
Vlakke oppervlakken
-
met een gewicht van niet meer dan 10 kg
-
Precision pins
-
Hoog nauwkeurige onderdelen
Het kan zorgen voor een betere controle van:
-
Dimensionele nauwkeurigheid
-
Rondheid
-
Vlakheid
-
Afwerking van het oppervlak
Het juiste slijpproces hangt af van de geometrie en het materiaal.
12. Vacuümcomponenten
Vacuümapparatuur stelt extra eisen aan de bewerkte onderdelen.
Potentiële vereisten zijn onder meer:
-
Gecontroleerde afdichtingsoppervlakken
-
nauwkeurige flenstgeometrie
-
Laag borrelniveau
-
Lage verontreiniging
-
Fijne oppervlakteafwerking
Voorbeelden hiervan zijn:
-
Vacuümkamercomponenten
-
Flangen
-
Adapters
-
Hoofdstukken
-
Montageonderdelen
-
van de soort gebruikt bij de vervaardiging van elektrische apparaten
13. Vacuümkamercomponenten
Een vacuümkamer kan complexe interfaces bevatten.
Verwerkte eigenschappen kunnen zijn:
-
Flankenoppervlak
-
Boltpatronen
-
Havens
-
Groeven
-
O-ringkanalen
-
Montage-interfaces
Dimensionale nauwkeurigheid is belangrijk omdat het onderdeel mogelijk moet worden geïntegreerd met verschillende andere precisieonderdelen.
14. Vacuümverzegelingsoppervlakken
Een afdichtingsoppervlak kan een nauwkeurige controle vereisen van:
-
Vlakheid
-
Ruwheid van het oppervlak
-
Parallelisme
-
Geometrie van de groef
Een oppervlak dat visueel glad lijkt, kan nog steeds niet voldoen aan een technisch oppervlakte-afwerkingseisen.
De inspectie moet daarom gebaseerd zijn op meetbare specificaties.
15. O-ring groefbewerking
O-ringgrooves kunnen eenvoudig lijken, maar hun afmetingen kunnen functioneel belangrijk zijn.
De groef kan de controle van:
-
Breedte
-
Diepte
-
Diameter
-
Hoekradius
-
Concentriciteit
Onjuiste groefgeometrie kan de afdichting beïnvloeden.
16. Gas- en vloeistofmanifold
Halvegeleiderapparatuur kan precieze manifolds gebruiken voor gecontroleerde gas- of vloeistofverdeling.
Een manifold kan bevatten:
-
Meerdere poorten
-
Inwendige doorgangen
-
met een breedte van niet meer dan 50 mm
-
met een diameter van niet meer dan 15 mm
-
Afdichtingsoppervlakken
De bewerkingsuitdaging is niet alleen de externe geometrie.
De internen doorgangen moeten eveneens goed worden gecontroleerd en afgebrouwd.
17. Bewerking van kruisgaten
Doorboorde doorgangen kunnen interne boringen veroorzaken.
Het kan moeilijk zijn om toegang te krijgen tot deze bultjes.
Potentiële oplossingen kunnen zijn:
-
Gespecialiseerde boorstrategieën
-
Gecontroleerd ontborren
-
Interne schoonmaak
-
Inspectiemethoden die geschikt zijn voor de geometrie
Voor vloeistof- en gascomponenten kan interne reinheid bijzonder belangrijk zijn.
18Micro-gaten.
Precisieapparatuur kan zeer kleine gaten bevatten.
Voor het bewerken van micro-gaten is de controle van:
-
Booruitstroom
-
Werktuigstijfheid
-
Snijparameters
-
Chip evacuatie
-
Hoolpositie
-
Burrvorming
Bij kleine diameters kan het breken van het gereedschap een aanzienlijk productierisico vormen.
19. Deep Hole Bewerking
Diepe gaten brengen uitdagingen met zich mee zoals:
-
Verwijzing van het gereedschap
-
Chip evacuatie
-
Warmteproductie
-
Rechtheid van het gat
Het geschikte proces kan omvatten:
-
Boringen in de bek
-
Gewerenboren
-
Saai.
-
Verzorging
De keuze is afhankelijk van de diameter van het gat, de diepte en de vereiste nauwkeurigheid.
20. 5-assige CNC-bewerking voor halfgeleidercomponenten
Een vijfassige bewerking kan nuttig zijn voor onderdelen die:
-
Hoekoppervlakken
-
Complexe holtes
-
Meervoudige oriëntatie
-
Gekrompen kanalen
-
Moeilijk toegankelijke gaten
Potentiële voordelen zijn onder meer:
-
Verminderde installaties
-
Verbeterde kenmerkenrelaties
-
Betere toegankelijkheid van gereedschappen
-
Verminderde complexiteit van de armaturen
Een eenvoudiger 3-assig of 3+2-proces kan echter nog steeds voor veel componenten economischer zijn.
21. Complexe componenten van halfgeleiderapparatuur
Een enkel onderdeel kan de volgende combinaties bevatten:
-
Grote vlakke oppervlakken
-
Diepe zakken
-
Precision borers
-
met een gewicht van niet meer dan 50 kg
-
Kleine gaten
-
Buigvlakken
Dit soort geometrie vereist een zorgvuldige procesplanning.
Een mogelijke strategie is:
Ruw frezen
↓
Precisie vervelend
↓
Bewerking met 5-assige eigenschappen
↓
Voltooiing van het frezen
↓
Maaien / honen
↓
Inspectie
22Oppervlakte afwerking.
De vereisten voor oppervlakteafwerking kunnen van belang zijn voor:
-
Vacuümoppervlak
-
Afdichtingsoppervlakken
-
Schuifvlakken
-
Gascontactoplaatsen
Verschillende oppervlakken van hetzelfde onderdeel kunnen verschillende schaafvlakken vereisen.
Om deze reden moeten de tekeningen kenmerken bij kenmerken worden herzien.
23Oppervlakte ruwheid versus vlakheid
Dit zijn verschillende vereisten.
Ruwheid van het oppervlak
Beschrijft een relatief kleinschalige oppervlaktekstuur.
Vlakheid
Beheert de totale afwijking van een oppervlak van een ideaal vlak.
Een onderdeel kan:
Laag Ra
maar nog steeds:
Slechte vlakheid
Daarom moeten beide kenmerken, indien nodig, onafhankelijk worden gecontroleerd.
24. Aluminiumoppervlaktebehandeling
Aluminiumcomponenten van halfgeleiderapparatuur kunnen oppervlaktebehandelingen vereisen, zoals:
-
Anodisatie
-
Hard anodiseren
-
met een breedte van niet meer dan 50 mm
-
Andere gespecificeerde coatings
De oppervlaktebehandeling kan de afmetingen veranderen.
Critische interfaces moeten daarom vóór en na de behandeling worden herzien.
25. Elektro-loze nikkelplating
Elektrologische nikkelplating kan:
-
Corrosiebestendigheid
-
slijtvastheid
-
Gecontroleerde oppervlakte eigenschappen
Het kan ook nuttig zijn wanneer op complexe geometrieën een uniforme coatingsdikte vereist is.
De werkelijke geschiktheid is echter afhankelijk van:
-
Materiaal
-
Milieu
-
Vereiste dikte
-
Specificatie van het oppervlak
-
Toepassing
26Bewerking van roestvrij staal
Roestvrij staal wordt gewoonlijk gebruikt voor onderdelen waarvoor:
-
Corrosiebestendigheid
-
Sterkte
-
Chemische weerstand
Bewerkingsproblemen kunnen onder meer zijn:
-
Werkverharding
-
Warmteproductie
-
Gebruik van gereedschap
-
Moeilijke chipcontrole
Stabiele snijomstandigheden en geschikte gereedschappen zijn belangrijk.
27. Schoon bewerken
Voor gevoelige toepassingen van halfgeleiders kan bewerkingszuiverheid een belangrijk onderdeel van de productie worden.
Potentiële verontreinigende stoffen zijn:
-
Snijolie
-
Koelmiddelresidu
-
Metalen chips
-
Abrasieve deeltjes
-
Stof
-
Besmetting
Het vereiste zuiverheidsniveau moet door de klant duidelijk worden bepaald.
28. Precieze reiniging
Een typische reinigingssequentie kan bestaan uit:
Vervaardiging
↓
Eerste reiniging
↓
Ultrasone reiniging, indien nodig
↓
Schuiven
↓
Drogen
↓
Inspectie
↓
Gecontroleerde verpakking
Het eigenlijke proces moet worden ontwikkeld op basis van het onderdeel en de toepassing.
29Waarom schulden betalen belangrijk is
Een kleine boor kan onbelangrijk zijn op een groot bouwstuk.
Het kan een groot probleem worden binnen een precisie-apparatuur assemblage.
Burrs kunnen:
-
Wordt losse deeltjes
-
Interfereer met de assemblage
-
Beperkt vloeistofgang
-
Beschermingsoppervlakken
Daarom moet de beheersing van buigingen worden beschouwd als een technische vereiste.
30Partikelcontrole
Voor gevoelige toepassingen kunnen losse deeltjes ongewenst zijn.
Potentiële deeltjesbronnen zijn:
-
Burrs
-
Bewerkingschippen
-
slijpresidu
-
Abrasieve deeltjes
-
Rest van de coating
Vervaardiging, reiniging, inspectie en verpakking moeten daarom als één procesketen worden beschouwd.
31Verpakking
Na een nauwkeurige reiniging kan verpakking van belang zijn.
De verpakking moet de onderdelen beschermen tegen:
-
Stof
-
Schrammen
-
Besmetting
-
Vocht, indien van toepassing
De verpakkingsmethode moet voldoen aan de eisen van de klant.
32Precision Inspection.
De inspectie kan betrekking hebben op:
Dimensionele metingen
-
Lange
-
Diameter
-
Dikte
-
Grootte van het gat
Geometrische metingen
-
Vlakheid
-
Parallelisme
-
Perpendiculariteit
-
Positie
-
Concentriciteit
-
Uitstroom
Oppervlakte meting
-
Ruwheid van het oppervlak
-
Zichtvermogen
33. CMM-inspectie
CMM-inspectie kan nuttig zijn voor complexe componenten van halfgeleiderapparatuur.
Het kan verifiëren:
-
Hoolposities
-
Datumverhoudingen
-
Profielen
-
Hoeken
-
Geometrische toleranties
Voor grote precisieplaten kan CMM-inspectie helpen vast te stellen of meerdere elementen hun vereiste ruimtelijke relaties behouden.
34. Optische inspectie
Optische inspectie kan nuttig zijn voor:
-
Kleine gaten
-
Kleine groeven
-
Randvoorwaarden
-
Micro-functies
-
Burr detectie
Het kan de conventionele dimensiemeten aanvullen.
35Meting van grote precieze platen
Grote platen kunnen inspectieproblemen opleveren omdat:
-
Thermische uitbreiding beïnvloedt de afmetingen
-
Het gewicht van de onderdelen kan de vervorming beïnvloeden
-
Temperatuurverschillen kunnen de meting beïnvloeden
Bij nauwe toleranties moeten de inspectievoorwaarden daarom op passende wijze worden gecontroleerd.
36. Thermische expansie
Aluminium heeft in vergelijking met veel stalen een relatief hoge koëfficiënt van thermische uitbreiding.
Dit betekent dat temperatuursveranderingen de afmetingen kunnen beïnvloeden.
Bijvoorbeeld:
Temperatuur van de machine
≠
Inspectietemperatuur
kan leiden tot schijnbare afmetingsverschillen.
Voor de precisiebewerking van aluminium kan thermische beheersing daarom van belang zijn.
37. Bewerkingsvolgorde voor grote precieze aluminiumonderdelen
Een mogelijk proces kan zijn:
Materiaalvoorbereiding
↓
Ruwe bewerking
↓
Stressverlichting
↓
Semi-afwerking
↓
Re-stabilisatie
↓
Voltooiing van de bewerking
↓
Oppervlaktebehandeling
↓
Eindinspectie
De exacte volgorde hangt af van materiaal, geometrie en tolerantie.
38. Zwakwandsemiconductorcomponenten
Lichte apparatuurcomponenten kunnen dunne secties bevatten.
Tot de mogelijke problemen behoren:
-
Vibratie
-
Afbuiging
-
Vervorming van de klem
-
Thermische vervorming
Een zachte of gedistribueerde werkhoudingsstrategie kan vereist zijn.
De bewerkingsvolgorde wordt ook belangrijk.
39Complexe interne holtes.
"Technologie" voor de "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologieën" bedoeld in 5A001.a.1., 5A001.a.2. en 5A001.a.2.
-
Koelkanalen
-
Gaspassages
-
Vacuümpassages
-
Interfaces voor apparatuur
Vijfassige bewerking kan de toegang tot sommige complexe holtes verbeteren.
Er moet echter ook rekening worden gehouden met de interne reiniging en inspectie.
40. Moeilijk te inspecteren kenmerken
Een onderdeel kan onderdelen bevatten die gemakkelijk te bewerken zijn, maar moeilijk te inspecteren.
Voorbeelden hiervan zijn:
-
Diepe interne gaten
-
Verborgen kanalen
-
Interne kruispunten
-
Smalle groeven
Bij het ontwerpen of noteren van een onderdeel moet daarom naast de bewerkingsmogelijkheid ook rekening worden gehouden met de uitvoerbaarheid van de inspectie.
41. Procesplanning
Een precisie-halfgeleidercomponent dient te worden geprogrammeerd uit:
Tekening
↓
Materiaal
↓
Datumstructuur
↓
Bewerkingsstrategie
↓
Werkgever
↓
Gereedschapskeuze
↓
Oppervlaktebehandeling
↓
Reiniging
↓
Inspectie
Dit vermindert het risico dat laat in de productie wordt ontdekt dat een kritisch kenmerk niet betrouwbaar kan worden gemeten.
42Gemeenschappelijke problemen met CNC-bewerking van halfgeleiders
Vlakheidsproblemen
Mogelijke oorzaken:
-
Reststress
-
Onregelmatige materiaalverwijdering
-
Vervorming van de klem
-
Thermische variatie
Burrs
Mogelijke oorzaken:
-
Gebruik van gereedschap
-
Kleine gaten
-
Kruisboren
-
Onjuiste snijomstandigheden
Problemen met oppervlakteafwerking
Mogelijke oorzaken:
-
Werktuigtrillingen
-
Versleten gereedschappen
-
Onjuiste snijparameters
-
Slechte afwerkingsstrategie
Afwisseling van afmetingen
Mogelijke oorzaken:
-
Temperatuur
-
Gebruik van gereedschap
-
Positionering van de machine
-
Werkgever
Verontreiniging
Mogelijke oorzaken:
-
Slechte reiniging
-
Onvoldoende ontborring
-
Onjuiste behandeling
-
Verontreiniging van verpakkingen
43Precision Cleaning versus conventionele reiniging
Niet elk bewerkte onderdeel vereist hetzelfde reinigingsproces.
Een conventionele industrieel onderdeel mag slechts vereisen:
Verwijder zichtbare chips en olie
Een gevoelig precisiecomponent kan vereisen:
Ontbossing → Reiniging → Spoelen → Drogen → Inspectie → Gecontroleerde verpakking
Het juiste gehalte moet worden bepaald door de aanvraag.
44Prototype versus productie
Prototype
Concentreer je op:
-
Geometrie
-
De haalbaarheid
-
Dimensionale validatie
Laag volume
Concentreer je op:
-
Herhaalbaarheid
-
Inrichtingsdoeltreffendheid
-
Inspectie
Productie
Concentreer je op:
-
Stabiliteit van het proces
-
Cyclustijd
-
Werktuiglevensduur
-
Geautomatiseerde controle
-
Reinigingsconsistentie
45. Kostendrijvers
De kosten van CNC-componenten voor halfgeleiders kunnen worden beïnvloed door:
-
Materiaal
-
Afmeting van het onderdeel
-
Bewerkingstijd
-
5-assige programmering
-
Strakke toleranties
-
Afwerking van het oppervlak
-
Vervaardiging
-
Honing
-
Oppervlaktebehandeling
-
Reiniging
-
Inspectie
-
Verpakking
Een onderdeel met een relatief eenvoudige buitenvorm kan nog steeds duur zijn als het een extreem strakke vlakheid of reiniging vereist.
46. Hoe een CNC-leverancier voor halfgeleiders te evalueren
Inkoopingenieurs moeten zich afvragen:
Kan de leverancier het gespecificeerde materiaal bewerken?
Kunnen ze de vereiste vlakheid behouden?
Kunnen ze nauwkeurige boringen beheersen?
Hebben ze 5-assige bewerkingsmogelijkheden?
Kunnen ze slijpen en slijpen?
Hoe worden kleine gaten geïnspecteerd?
Hoe worden blaren uit de inwendige gangen verwijderd?
Welke reinigingsmogelijkheden zijn er?
Kunnen ze de afmetingen na de behandeling controleren?
Welke inspectiedocumentatie kunnen zij verstrekken?
Deze vragen kunnen het verschil laten zien tussen de algemene CNC-bewerkingscapaciteit en de echte precisiefabricagecapaciteit.
47Ontwerpen van halfgeleidercomponenten voor CNC-productie
Ontwerpexperts moeten rekening houden met:
Datumstrategie
Gebruik duidelijke functionele referenties.
Tooltoegankelijkheid
Vermijd onnodig ontoegankelijke functies.
Inwendige doorgangen
Overweeg boorwerk, ontborren en inspectie.
Oppervlakte afwerking
Specificeer alleen fijne afwerkingen wanneer de functie dit vereist.
Vlakheid
Denk aan de dikte van het materiaal en de bewerkingsdruk.
Oppervlaktebehandeling
rekening houden met de laagdikte wanneer dimensionale interfaces betrokken zijn.
48Waarom een verwijderingsstrategie van belang is
Grote halfgeleidercomponenten kunnen beginnen als dikke aluminium- of roestvrijstalen vlekken.
Een vereenvoudigd proces kan er als volgt uitzien:
Grote blanke
↓
Verwijdering van zwaar materiaal
↓
Halffabricaten
↓
Eindprecisie-geometrie
Hoe meer materiaal wordt verwijderd, hoe belangrijker stressbeheersing kan worden.
Dit geldt met name voor grote dunwandige onderdelen.
49. Waarom 5-assige capaciteit waardevol is
5-assige CNC-bewerking is bijzonder nuttig wanneer het onderdeel:
-
Meerdere hoekige gezichten
-
Complexe holtes
-
Buigvlakken
-
Hoeken met hoek
-
Meervoudige oriëntatie
Het doel is echter niet alleen het gebruik van een 5-assige machine.
Het doel is een bewerkingsstrategie te kiezen die de vereiste:
Precies + Toegankelijkheid + Herhaalbaarheid + Efficiëntie
50Conclusies
Componenten van halfgeleider- en elektronische apparatuur tonen het belang aan van het combineren van precisiebewerking met procesbesturing.
Een veeleisend onderdeel kan vereisen:
5-assige CNC-bewerking + precisiefrees + boren + slijpen + slijpen + oppervlaktebehandeling + reinigen + CMM-inspectie
De kritische fabricagevereisten kunnen zijn:
-
Strakke afmetingen
-
Vlakheid
-
Parallelisme
-
Precision borers
-
Afwerking van het oppervlak
-
Burrcontrole
-
Schoonheid
-
Materiaaltraceerbaarheid
Voor aanbestedingsingenieurs moet de beoordeling van een leverancier dus verder gaan dan vragen:
Kun je dit ding bewerken?
Een nuttiger vraag is:
Kun je de bewerking, afwerking, reiniging en inspectie consequent controleren volgens de vereiste specificatie?
Dat onderscheid wordt vooral belangrijk in de productie van halfgeleiderapparatuur, waar precisie, schoonheid en geometrische relaties vaak samenwerken.
Hoofdstuk 9 Belangrijkste lessen
CNC-bewerking van halfgeleiders vereist meer dan dimensieprecisie.
Vlakheid, parallelisme, oppervlakteafwerking, schoonheid en geometrische relaties kunnen allemaal van cruciaal belang zijn.
Aluminium wordt veel gebruikt, maar kan moeilijk zijn bij grote afmetingen.
Reststress en thermische uitbreiding kunnen de precisie beïnvloeden.
Vacuümcomponenten vereisen een zorgvuldige controle van de interfaces.
Flenzen, afdichtingsoppervlakken, groeven en poorten kunnen allemaal functionele toleranties hebben.
Precieze boringen kunnen worden geslepen of geslepen.
CNC-bewerking bepaalt de basisgeometrie, terwijl afwerkingen de definitieve kenmerken kunnen verfijnen.
Burr controle is cruciaal.
Kleine innerlijke barsten kunnen tot deeltjes worden of het vloeistof- en vacuümsysteem verstoren.
Het schoonmaken dient als onderdeel van het productieproces te worden beschouwd.
Bewerking, ontbossing, reiniging, inspectie en verpakking moeten een gecontroleerde procesketen vormen.
5-assige CNC-bewerking is waardevol voor complexe apparatuuronderdelen.
Het kan setups verminderen en de toegang tot moeilijke geometrieën verbeteren.
De capaciteit van de leverancier moet worden beoordeeld als een compleet systeem.
Machines, procestechniek, inspectie, schoonmaak, oppervlaktebehandeling en documentatie dragen allemaal bij aan de uiteindelijke kwaliteit.
Volgende hoofdstuk
Hoofdstuk 10 CNC industriële automatisering en robotica
Het volgende hoofdstuk zal zich richten opindustriële automatisering, robotica en precisiemechanische componenten.
Het zal betrekking hebben op:
-
Robotica CNC-bewerking
-
Robotarmen
-
Robotschachten
-
Verminderapparaten voor nauwkeurigheid
-
Komponenten van het vistuig
-
Lineaire begeleidingsonderdelen
-
Onderdelen voor automatiseringsapparatuur
-
gereedschappen voor het eind van de arm
-
Grijpers
-
Servomotorcomponenten
-
met een breedte van niet meer dan 15 mm
-
Automatiseringsonderdelen van aluminium
-
Automatiseringsonderdelen van roestvrij staal
-
Bewerkingen met behulp van 5-assige bewerkingen
-
Vervaardiging uit staal of van staal
-
Montage-interfaces
-
Precisiecontrole
Dit hoofdstuk zal helpen de website uit te breiden van de afzonderlijke industrieën naar de bredereindustriële automatisering en robotica CNC-bewerkingmarkt.